[단독] 동진쎄미켐, 삼성 ARF노광기로 ‘D램·시스템LSI용 포토레지스트’ 생산한다.
발행일 : 2020-01-13 08:46:03 | 이동희 기자

[인포스탁데일리=김종효 선임기자, 이동희 기자]


반도체 제조공정, 자료 : 동진세미켐 홈페이지

반도체소재장비 기업 동진쎄미켐이 이르면 올 상반기 새로운 10여 가지 포토레지스트를 생산·공급한다.

특히, 낸드플래시 적층방식에 이용되는 포토레지스트가 아닌 미세공정에 필수적인 포토레지스트 양산이 임박, 일본이 독점해왔던 포토레지스트 소재 시장에 일대 변화가 예상된다.?br />?br />13일 산업통상자원부와 관련 업계 등에 따르면, 반도체 소재장비기업 동진쎄미켐은 지난 해 12월부터 삼성전자가 사용하던 최소 700억원에서 최대 1000억원 수준의 ArF노광기를 70억원에 사들여 자체 연구소에 설치한 것으로 확인됐다.

동진쎄미켐은 이어, 연구소에 설치된 ArF노광기로 테스트가 완료된 반도체 미세공정용 ArF포토레지스트 15종을 올해 상반기 중으로 대부분 생산·공급한다는 계획이다.?/p>

내부 사정에 밝은 한 정부 관계자는 “삼성전자가 고가의 장비를 헐값에 넘겨준 것은 포토레지스 테스트에 걸리는 시간과 비용을 획기적으로 줄이기 위한 조치인 것으로 안다”며 “한일 무역전쟁 이후 속도를 내던 삼성전자와 협력사 간 반도체 소재 국산화의 일환”이라고 설명했다.?/p>

동진쎄미켐은 그동안 ArF용 포토레지스트 제품 개발용 테스트를 북유럽 반도체 소재 연구소에 맡겨왔다. 또, 삼성전자를 포함한 국내 반도체 기업들이 막심한 손해를 감수하고 3개월에서 6개월에 한번 정도 자체 생산라인 멈춘 뒤 동진쎄미켐을 포함한 협력사 제품의 개발 테스트를 진행해온 것으로 알려졌다.

최양오 현대경제연구원 고문은 “45가지가 넘는 반도체 미세공정용 ArF포토레지스트 개발을 위해 기업들이 들여야 하는 비용만 해도 천문학적이다. 하지만, 더 큰 문제는 테스트 기간만 3년에 4년이 걸린다는 사실”이라며 “삼성전자가 장비까지 헐값에 넘겨주면서 테스트베드를 자체적으로 꾸리게 만들어줬다는 것은 최종결과물에 대한 양산이 상당 부분 임박했다 얘기”라고 말했다.?/p>

한일 무역전쟁으로 불리는 일본 정부의 소재장비 수출 규제 이전까지, 반도체 생산 필수소재인 불산과 함께 포토레지스트, 특히, ArF포토레지스트는 일본 기업들이 독점해 온 것으로 알려져 있다.?br />?br />한편, 출시되는 동진쎄미켐의 ArF용 포토레지스트는 삼성전자 반도체 생산 등에 전량 사용되는 것으로 알려졌다.?/p>


김종효 선임기자 kei1000@infostock.com
이동희 기자 nice1220@infostock.co.kr

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